氫氣發(fā)生設(shè)備目前已大量應(yīng)用在以上工藝中，為半導(dǎo)體材料及器件制備提供好的氣源。進(jìn)口氫氣發(fā)生器全部工作過(guò)程均由程序控制，自動(dòng)恒壓、恒流，通過(guò)串聯(lián)控制線，可實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)使用，操作方便使用時(shí)只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無(wú)需泄壓，直接關(guān)閉電源即可?？蛇B續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減，且該設(shè)備配有安全裝置，電解超純水制氫，無(wú)腐蝕、無(wú)污染，配有壓力控制，缺水自動(dòng)監(jiān)控，漏氣自動(dòng)檢測(cè)。

　　安裝該儀器可采用以下兩種方式：

　　吊裝式：凈化管的進(jìn)氣口和出氣口都在儀器上部，出管口向下，從電解分離池或者壓縮機(jī)過(guò)來(lái)的氣體首先從固定蓋中間內(nèi)突起的進(jìn)氣口向下通過(guò)內(nèi)襯芯管進(jìn)入干燥劑底部，然后經(jīng)過(guò)吸附劑的過(guò)濾后再向上返回到固定蓋周邊的出氣口，從而保證氣體經(jīng)過(guò)有效的過(guò)濾后再輸出。

　　立裝式：過(guò)濾管的進(jìn)氣口和出氣口都在儀器底部，開口向上。此方法有兩種：

　　（1）凈化管內(nèi)加襯管，吸附劑裝入襯管內(nèi)，氣體先經(jīng)吸附劑吸附后再經(jīng)凈化管與襯管中間的縫隙到凈化管底部輸出，此方法由于受結(jié)構(gòu)及加工工藝的影響，襯管不易從凈化管內(nèi)取出，甚者氣體受吸附劑阻力的影響而不流經(jīng)吸附劑，造成未過(guò)濾的氣體直接輸出，影響色譜的正常使用；

　?。?）凈化管內(nèi)加導(dǎo)管吸附劑裝入凈化管內(nèi)，氣體先經(jīng)吸附劑吸附后再經(jīng)導(dǎo)管輸出，此方法多為不銹鋼管采用，但不銹鋼管為不透明不便于用戶直接觀察吸附劑的變化，不方便使用。

　　在使用進(jìn)口氫氣發(fā)生器時(shí)需要留意以下事項(xiàng)：

　　為了確保氣體純度，發(fā)生器每工作1000小時(shí)，需要更換活性炭一次（活性碳為20-40目，鉛筆芯式）；

　　在工作過(guò)程中壓縮機(jī)不啟動(dòng)，熱保護(hù)繼電器啟動(dòng)，說(shuō)明壓縮機(jī)溫度過(guò)高，待冷卻后即可自動(dòng)恢復(fù)正常；

　　進(jìn)氣口過(guò)濾器需定期清洗（周期視室內(nèi)粉塵情況而定，可用超聲波清洗）以保持進(jìn)氣通暢，否則易引起壓縮機(jī)工作負(fù)載增大并發(fā)熱，溫度過(guò)高時(shí)會(huì)發(fā)生過(guò)熱保護(hù)而導(dǎo)致停機(jī)；

　　因壓縮機(jī)是感性負(fù)載，通斷電時(shí)的瞬時(shí)電流比正常工作時(shí)高數(shù)倍，較易熔斷保險(xiǎn)，應(yīng)選用8A保險(xiǎn)管，從觀察窗觀看變色硅膠的情況，用戶可根據(jù)需要更換新的硅膠，或進(jìn)行干燥處理；更換變色硅膠后，要及時(shí)檢查凈化管兩端接口的氣密性，若有漏氣，要及時(shí)更換密封墊圈或凈化管；

　　由于壓縮機(jī)為開路工作方式，故潤(rùn)滑油會(huì)隨水排出機(jī)外，造成消耗，所以在使用一年后適當(dāng)給壓縮機(jī)加潤(rùn)滑油，加油口在壓縮機(jī)出氣口旁邊或從進(jìn)氣口亦可，建議加18號(hào)冷凍機(jī)油200克。